真空氣氛爐的用途
真空氣氛爐是一種在氣氛保護下對材料燒結(jié)的真空電爐，主要用于氮化硅、碳化硅等陶瓷材料在氣氛（如N2、Ar、H2）下燒結(jié)，也可用于其他材料的吸氮、吸氫反應(yīng)。氣氛燒結(jié)爐用石墨或貴金屬做發(fā)熱體，發(fā)熱體在非氧化性氣氛下通過流經(jīng)的電流發(fā)熱，在爐體內(nèi)部產(chǎn)生大量的熱量。爐體內(nèi)部使用碳氈或全金屬作為隔熱、保溫層，爐壁為雙層水冷結(jié)構(gòu)，把爐體內(nèi)散出的熱量帶走，從而使爐壁溫度不會過高。
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